目 录 一、泵及真空设备制造行业中小企业发展情况....................................... - 1 - （一）泵及真空设备制造行业定义与范围...............................................- 1 - （二）泵及真空设备制造行业中小企业发展现状与趋势.......................- 2 - （三）泵及真空设备制造行业中小企业业务痛点 （三）泵及真空设备制造行业中小企业业务痛点...................................- 3 - 二、泵及真空设备制造行业中小企业转型价值....................................... - 4 - 三、泵及真空设备制造行业中小企业数字化转型场景...........................- 6 - （一）供应链数字化...... ..............................- 28 - - 1 - 一、泵及真空设备制造行业中小企业发展情况 （一）泵及真空设备制造行业定义与范围 泵及真空设备制造业是沈阳市装备制造业的核心细分领域， 也是沈阳市工业经济保持平稳健康发展的重要支撑。聚焦大型压 缩机、真空熔铸及热处理装备、泵、阀门等主导产品，已构建形 成贯穿“核心部件－整机制造－系统集成－运维服务”一体化的

BEST 预计将于 2027 年建成， 并将首次演示聚变能发电。在众多的技术路线中，我们认为技术成熟的托卡 马克设备有望率先实现商业化落地。随着 BEST 等聚变项目的持续落地，磁 体系统/第一壁/真空部件等托卡马克设备高价值量零部件有望显著受益。 超 70%公司预计 2031-2040 年可实现聚变商业化，BEST 项目已开始总装 美中欧日等国家在聚变领域均制定了战略部署，如美国 Helion 中心螺管线圈和极向场线圈构成的磁体系统在环形真空室中构造出一个闭 合的螺旋形磁场，使得聚变燃料在真空室中发生聚变反应。中国建成的全球 首个全超导托卡马克 EAST 装置，已经实现 403 秒等离子体约束，技术成 熟。更强的磁场，能够实现更好的等离子体约束，因此能实现更高磁场强度 的高温超导未来有望帮助托卡马克率先实现商业化落地。 实验堆阶段托卡马克设备市场超 900 亿元，关注磁场线圈/第一壁/真空部件 当前可控核 阶段全球托卡马克设备的市场空间约 911 亿元。在设备主体结构中，磁场线 圈价值量占比最高为 55%，产业链公司有联创光电、永鼎股份、精达股份 等；第一壁部件价值量占比约为 27%，产业链公司有国光电气、安泰科技 等；真空部件价值量占比约为 15%，产业链公司有合锻智能、海陆重工等。 风险提示：技术进步不及预期；聚变技术路线变化；聚变试验堆项目推迟风 险；测算与实际误差的风险。 (21) (10)

机器人控制柜 示教器 真空发生装置 操作机 抓取式手爪 气体发生装置 图 8-40 吸附式末端执行器 码垛机器人末端执行器是夹持物品移动的一种装置，常见形式有： 吸附式、夹板式、抓取式和组合式。 图 8-41 夹板式 （ 1 ）单板式 （ 2 ）多板式 图 8-42 抓取式手爪 图 8-43 组合式手爪 抓 钩 吸 盘 真空吸取式 + 抓取式组合机械手抓 关节式搬运机器人 图 8-63 搬运机器人系统组成 机器人控制柜 真空发生装置 示教器 操作机 气体发生装置 末端执行器 通常企业都会有一 个大型真空负压站，为 整个生产车间提供气源 和真空负压。一般由单 台或双台真空泵作为获 得真空环境的主要设备， 以真空罐为真空存储设 备，连接电气控制部分 组成真空负压站。 图 8-64 滑移平台 地面安装 龙门架安装

的码垛机器人由操作机、控制系统、码垛系统和安全保护装置组成，如 图 𝟖 − 𝟑𝟗 所示，操作者通过示教器和操作面板进行码垛机器人运动位置 和动作程序示教，设定速度、码垛参数等。 机器人控制柜 示教器 真空发生装置 操作机 抓取式手爪 气体发生装置 1、吸附式 在码垛中，吸附式末端执行器主要为气吸附手爪，广泛应用于医 药、食品、烟酒等行业。吸附式末端执行器如图 𝟖 − 𝟒𝟎 所示。 图8-40 组合式具有各种单组手爪优势，灵活性较大，各单组手爪之间既可 单独使用又可配合使用，可同时满足多个工位码垛。组合式手爪如图 𝟖 − 𝟒𝟑 所示。 图8-43 组合式手爪 抓 钩 吸 盘 真空吸取式+抓取式组合机械手抓 图8-44 码垛生产线 码垛工作站是一种集成化系统，可以和生产系统相连接形成一个完整 的集成化包装码垛生产线。码垛机器人工作站包括：码垛机器人、控制 器、编程器、 务的为搬运作业系统。搬运作业系统主要包括真空发生装置、气体发 生装置、液压发生装置等。 机器人控制柜 真空发生装置 示教器 操作机 气体发生装置 末端执行器 通常企业都会有一 个大型真空负压站，为 整个生产车间提供气源 和真空负压。一般由单 台或双台真空泵作为获 得真空环境的主要设备， 以真空罐为真空存储设 备，连接电气控制部分 组成真空负压站。 图8-64 滑移平台

资料来源：汽车技研，国元证券研究所 线控底盘向三轴融合发展，AI赋能提高底盘性能上限 76 线控底盘的三大核心系统中，X轴为线控制动， 以电控信号取代传统制动系统部分或全部机械部 件，解决新能源车缺少真空泵源困境，通过电信 号获得更快信息传输及响应速度；Y轴为线控转 向，以电子控制器取代方向盘与转向轮之间机械 连接，提高响应速度；Z轴为空悬，以空气弹簧 取代传统弹簧，搭配可变阻尼减振器减轻颠簸。 又由于制动和转向间存在很强的相互制约的耦 最早的制动系统完全依靠驾驶员通过机械装置直接向制动器施加作用力来产生制动力。然而，随着汽车重量增加，仅靠人力的机械 制动已无法满足需求，因此人们引入了助力装置。早期采用的是真空助力方式，系统包括真空助力器和液压制动两部分。驾驶员踩 下制动踏板，踏板力通过杠杆放大后传递到真空助力器，再经助力器进一步放大，推动主缸将制动液送入轮缸，产生制动力，最终 通过卡钳夹紧制动盘实现车轮制动。随着对制动性能和安全性的要求不断提高，液压制动系统结合电子控制技术，衍生出一系列电 态控制系统（VDC）。博世在1995年推出集成ABS、 TCS和VDC功能的ESP，并实现量产及应用。此后，其他厂商也推出了类似产品，统称为电子稳定性控制系统（ESC）。至此，汽车制 动系统演变为“真空助力+ESP”的方案。 表19：电子稳定性控制系统（ESC）包含的部分功能 名称 功能 ABS 防抱死制动系统 防止紧急制动时制动轮抱死，以取得最佳 的制动效果 EBD 电子制动力分配 监测车轮与地面的附着力，最优分配制动

。 郭台铭“百万机器人计划” 应用行业 应用类型 汽车产业 弧焊、点焊、装配、搬运、喷漆、切割 电子电器 搬运、洁净装配、自动传输、打磨、真空封装、拾取 化工纺织 搬运、包装、码垛、称重、检测、切割、研磨、装配 食品饮料 普通包装、搬运、真空包装 塑料轮胎 上下料、去毛边 冶金钢铁 搬运、码垛、铸件去毛刺、浇口切割 家具家电 装配、搬运、打磨、喷漆、切割、雕刻 海洋勘探 维修、建造、拆卸

5.15 设施规避 5.16 法规 5.17 标记保存 5.27 回填 5.28 竣工文件 5.29 非开挖挖掘 5.30 与相邻设施的紧急协调 5.31 提供地下设施地点不收取任何费用 5.32 真空开挖 5.33 设施所有者在挖掘期间提供监控 完整性管理 - 防第三方损害 5.18 挖掘观察员 5.19 挖掘容忍区 5.20 容忍区内的挖掘 5.21 23 查找请求更新 5.24 设施损坏通知 5.25 紧急人员通知 5.26 紧急开挖 DAe AN VD SHo 增强积极响应 定位请求信息， 设施图， 照片和虚 拟清单 软挖掘工具 真空挖掘和水力挖掘 移动挖掘机应用程序 地理围栏 地理围栏， 使电子设备 GPS 和数字测绘技术 挖掘区域电子白线 挖掘设备上集成 GPS 预测分析工具 使用移动设备 其他先进技术 空中巡查

痛点分析：仪器安装复杂影响数据准确性，拆装维护成本 高且管理困难。精密仪器设备（如激光干涉仪、原子力显微镜、 航天传感器等）的高精度属性与复杂系统结构，导致安装调试 需满足温湿度、防震、洁净度等严苛环境条件，且核心部件拆 装涉及真空密封、光学校准等高难度操作，传统服务模式难以 保障数据准确性与维护效率。 应用场景： - 13 - 一级：数字化记录仪器部署环境、校准数值等服务流程与 信息。应用工单小程序等信息技术工具辅助记录服务流程，实 应用电子表格等基础工具，管理进口光学玻璃、真空镀膜材料 等特种物料的采购清单，记录供应商资质文件，实现微米级研 磨耗材、精密轴承等关键部件订单基础信息的数字化留存及材 料成分证明文件的电子归档，满足物料基本追溯需求。 二级：应用系统管理采购数据，规范化采购流程。应用覆 盖供应商全生命周期的信息化系统，实施物料批次号等参数的 线上标准化管理，实施检测报告、真空腔体氦质谱检漏证书等 质量文件的系

通过数据分析和对标发现能效水平 差距 3 通过 PDCA 能源管理模式进行优 化 4 通过能效数据的变化指引运行 维护 5 用数据指引节能技改方向 组网结构 坩埚 喷涂 扩散炉 烘箱 烧结炉 铸锭炉 真空泵 开方机 单晶炉 研磨机 焊接机 平台架构 展现层 应用层 企业能源管控平台 基础设施 运营层 WEB APP 实时监控 越限报警 铸锭炉 办公食堂 等系统 主要监测对象 建议计量的设备设施 种类 设备 / 设施名称 用能种类 1 变压器 电 2 坩埚喷涂 电 3 铸锭炉 电 4 烘箱 电 5 单晶炉 电 6 真空泵 电 7 开方机 电、水 8 研磨机 电、水 9 倒角机 电、水 10 带锯 电、水 11 预清洗机 电、水 12 切片机 电、水 13 制绒清洗机 电、水 14 扩散炉 电 15  锅底料清洗机  单晶边皮料清洗机  全自动硅料酸洗设备  声波清洗机  单 / 多晶棒产 量  工序总耗电 量  拉棒工序综 合电耗  单晶炉综合 电耗  真空泵综合 电耗  硅片产量  取水量  工序总耗电 量  切片工序综 合电耗  切片工序取 水量  晶硅电池产量  取水量 / 耗酸量  工序总耗电量  电池工序综合

管理系统 ，如何通过监控工厂所有设备所有人员所 有材料的具体情况，通过管理系统 ，让各个生产环节紧密绌合，协调运转？ SCADA 及厂务监控系统 智能工厂监控管理需要解决的问题 工业真空 清扫真空 厂务水系统 www. sun wayland com.. cn 监控 管理 工厂监控管理整体功能 MEP 机电工程 厂务综合 SCADA 及厂务监 控系统 化学品供应系统