年我国电子特气国产化率有望提升 新世纪评级 2025 年度新质生产力系列文章 15 至 25%。国内企业如华特气体的高纯六氟乙烷等 50 余种产品已规模 化供应，并进入台积电、中芯国际等头部晶圆厂；中船特气的六氟化 钨、三氟化氮等产品实现国产替代，并进入先进封装领域；南大光电 成功实现了国产磷烷、砷烷的产业化，实现进口替代。